基本參數安裝方式半齊平測量速度<1 mm / ms測量距離 Sd0,5…1,5 mm分辨率（RMS）< 0,01 µm(靜態(tài)10 Hz)< 0,06 µm(動(dòng)態(tài)520 Hz)< 0,004 µm (中心區域)線(xiàn)性誤差± 50 µm重復精度（Sd）< 1 µm溫漂±10 µm電氣參數電源電壓范圍 +Vs15 … 30 VDC最大電流消耗（無(wú)負載）50 mA輸出電路電流輸
| 安裝方式 | 半齊平 |
| 測量速度 | < 1 mm / ms |
| 測量距離 Sd | 0,5 … 1,5 mm |
| 分辨率（RMS） | < 0,01 μm (靜態(tài)10 Hz) < 0,06 μm (動(dòng)態(tài)520 Hz) < 0,004 μm (中心區域) |
| 線(xiàn)性誤差 | ± 50 μm |
| 重復精度（Sd） | < 1 μm |
| 溫漂 | ±10 μm |
| 電源電壓范圍 +Vs | 15 … 30 VDC |
| 最大電流消耗（無(wú)負載） | 50 mA |
| 輸出電路 | 電流輸出 |
| 輸出信號 | 0…20 mA |
| 負載電阻（+Vs最?。?/td> | < 100 Ohm |
| 負載電阻（+Vs最大） | < 400 Ohm |
| 壓降 Vd | <7 VDC |
| 短路保護 | 是 |
| 反極性保護 | 是 |
| 類(lèi)型 | 圓柱形，螺紋版 |
| 尺寸 | 12 mm |
| 外殼長(cháng)度 | 90 mm |
| 外殼材質(zhì) | 鋼（9 SMn (Pb) 28/36） |
| 感應面材質(zhì) | 陶瓷 |
| 連接方式 | M12 接頭 |
| 工作溫度 | 0 … +60 °C |
| 防護等級 | IP 67 |