TFMHP-30C05-193強激光用電介質(zhì)膜反射鏡SIGMA KOKI西格瑪光機光學(xué)元件
?可以提供用于YAG激光器的，從基波（1064nm）到4次諧波（266nm）的反射鏡和ArF（193nm），KrF（248nm）的準分子激光用的反射鏡。 ?反射率高，經(jīng)過(guò)多個(gè)反射鏡反射后，光量也不會(huì )衰減很多。 ?使用吸收小的電介質(zhì)膜，可以承受大功率激光的連續照射。
| 注意 | ?使用前，請確認入射激光光束的能量密度不要超過(guò)激光損傷閾值。 ?通過(guò)透鏡或凹面反射使激光光束變細后入射時(shí)，可能有能量密度超過(guò)激光損傷閾值，反射鏡受破損的危險。 ?入射光束的光量很大的時(shí)候，光束可能透過(guò)反射鏡（透過(guò)率1%以下）。請務(wù)必在反射鏡的反面遮擋散亂光。 ?紫外譜區的反射鏡有產(chǎn)生熒光的可能。對反射鏡熒光有疑問(wèn)的客戶(hù)請至營(yíng)業(yè)部門(mén)咨詢(xún)。 ?多層電介質(zhì)膜因為入射光束的偏光狀態(tài)不同其反射率波長(cháng)特性將會(huì )有改變。P偏光與S偏光相比，反射率變低，反射譜區變窄。 ?技術(shù)指標的反射率是用P偏光和S偏光的反射率的平均值來(lái)表示的。 ?在設計波長(cháng)以外的波長(cháng)區域使用時(shí)，反射率有可能降低。 |
|---|---|
| 激光損傷閾值 | 2J/cm2 |
| 厚度 t | 5mm |
| 鍍膜 | 多層電介質(zhì)膜 |
| 表面質(zhì)量 | 10?5 |
| 適用波長(cháng) | 193nm |
| 反射率 | ＞95％ |
| 外徑 φD | φ30mm |
| 基板面型精度 | λ/10 |
| 入射角度 | 45°±3° |
| 平行度 | ＜3′ |
| 有效直徑 | 外徑的90% |
| 反面 | 拋光面 |